内蒙古大全半导体获得用于半导体级多晶硅的置换设备专利进步工作效率

  金融界 2024 年 11 月 27 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，内蒙古大全半导体有限公司获得一项名为“一种用于半导体级多晶硅的置换设备”的专利，授权公告号 CN 222048607 U，请求日期为 2024 年 3 月。

  专利摘要显现，本实用新型触及多晶硅出产技术领域，且公开了一种用于半导体级多晶硅的置换设备，包含固定组件，固定组件包含：复原炉尾气管道外侧设置有压力变送器；电动阀门设置于复原炉尾气管道的一端；榜首衔接收设置于电动阀门的一侧；吸气阀设置于榜首衔接收的顶部；榜首衔接收的外侧设置有真空置换组件，真空置换组件包含：L 型分流管设置于榜首衔接收的外侧；罗茨泵设置于 L 型分流管的一端；榜首分流管设置于罗茨泵的一侧；缓冲罐设置于榜首分流管的一端，并与榜首衔接收的一端固定衔接；前级水环式真空泵设置于缓冲罐的一侧，经过设置真空置换组件进步了复原炉内的的真空度满意满意半导体级多晶硅关于物料的洁净度要求，进步了工作效率。

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